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上海新陽:1400光刻機安裝調試基本完畢

來源:貼片電容 發(fā)布時間:2022-04-15 瀏覽:393

4月12日,上海新陽在投資者互動平臺表示,公司與中芯北方搭建的1400光刻機安裝調試基本完畢。


圖片

圖:上海新陽


上海新陽表示,公司研發(fā)費用投入超2億元,且主要系光刻膠項目研發(fā)和參與的國家重大科技項目研發(fā)費用。


資料顯示,上海新陽目前主要從事兩類業(yè)務:一類是集成電路制造及先進封裝用關鍵工藝材料及配套設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務,并為客戶提供整體化解決方案;另一類是環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關服務業(yè)務,并為客戶提供專業(yè)的整體涂裝業(yè)務解決方案。


其主要產(chǎn)品是半導體晶圓制造及先進封裝用電鍍液及添加劑、半導體晶圓制造用清洗劑、半導體封裝用電子化學材料、半導體制造用高端光刻膠產(chǎn)品、半導體配套設備產(chǎn)品。


上海新陽迄今承擔國家02專項研發(fā)項目有:“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”、“20-14nm先導產(chǎn)品工藝開發(fā)”項目任務課題“高速自動電鍍線研發(fā)與產(chǎn)業(yè)”項目、“銅互連電鍍工藝技術及產(chǎn)品的研發(fā)”等。



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